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中来宣布TOPCon电池转换效率实现24.5%,量产设备产能达8000片/小时

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编辑 | 光伏头条 王小勇

2020年12月9日,苏州中来光伏新材股份有限公司发布《关于公司控股子公司取得重大技术进展的公告》。

公告显示,苏州中来光伏新材股份有限公司控股子公司泰州中来光电科技有限公司于近期在N型单晶电池量产效率方面取得了重大进展,具体情况如下:

泰州中来生产的TOPCon电池量产转换效率已达到24.5%,这是国内最高的量产效率。公司运用了新一代J-TOPCon 2.0技术,该技术使用了全球领先的POPAID工艺技术,相较于采用LPCVD的TOPCon1.0技术,J-TOPCon2.0技术工序少、无绕镀、镀膜厚度可实现±0.1纳米可控,可获得更高的转换效率和良率。

该转换效率的突破是公司在N型单晶领域长期坚持自主创新的结果,也为公司下一步实现转换效率25%的目标和产能扩张提供了坚实的基础。在进一步提升公司内在核心竞争力的同时,将有力推动光伏行业技术的持续进步,推进光伏行业整体持续发展。

根据数据显示,此前的2020年10月,中来对外宣布其最新研发结果出炉,基于新一代隧穿氧化层和无绕镀原位掺杂非晶硅沉积的钝化接触技术制造的J-TOPCon2.0电池,其量产平均效率可以实现24%以上,良率达到97%以上。

此次J-TOPCon 2.0新技术是与江苏杰太光电技术有限公司合作,利用其独创的线性等离子源技术,共同开发了一套全新的POPAID技术(Plasma Oxidation & Plasma Assisted Insitu-doping Deposition),等离子氧化及等离子辅助原位掺杂技术。POPAID利用链式平台传输载板,能够在不破真空情况下同时完成隧穿氧化和掺杂非晶硅沉积,真正做到无绕镀。POPAID技术是全新的中国创新概念和技术,他是在光伏电池制造领域难得的中国、世界领先的镀膜概念。

POPAID设备上实现了多项创新工艺,其中等离子氧化硅的形成(PO)对表面没有损伤、而且镀膜厚度在0.1nm精度范围,真正实现了亚纳米镀膜工艺控制。和常规高温氧化相比,隧穿钝化效果更加优越。达到表面钝化和接触选择性同时提升的效果,均匀性更佳。对于掺杂非晶硅镀膜(PAID)工艺,该设备采用等离子强化的镀膜工艺,实现掺杂的非晶硅膜沉积,退火后掺杂浓度可高达4×1020原子/cm3,是常规离子注入浓度的一倍以上。经两道工艺的整合,J-TOPCon 2.0电池效率超过常规离子注入0.2%以上,开路电压(Voc),填充因子(FF)均有提升。良率也可提高2%。

POPAID装备技术使一台设备可以替代现有管式高温氧化、管式LPCVD,离子注入去绕镀清洗四道工序的四台设备,量产设备产能达到8000片/小时。

由于利用POPAID 技术使原来TOPCon12道制造工序缩短到9道工序。这不仅提升电池效率,而且提升生产良率和降低生产成本,可跟高效PERC电池工艺流程相媲美。可以说,J-TOPCon 2.0为新一代高效TOPCon电池的量产推广铺平了道路,这是对TOPCon技术的一次革命性贡献。

凭借这些年在N 型 TOPCon 技术研发上的巨大投入,中来股份一直在推动着N 型 TOPCon 技术的不断发展及量产化应用,目前已经具备2.4GW的N 型 TOPCon电池和组件的产能,已经成为全球最大的N 型 TOPCon电池和组件制造商。

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  • 编辑:王虹
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